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產(chǎn)品簡介:
設(shè)備應(yīng)用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件,
適用2~8英寸硅片的擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝。
產(chǎn)品特點(diǎn):
1.關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件,具有高可靠性。
2.采用高可靠性工業(yè)計(jì)算機(jī),對(duì)爐溫、閥門、送料舟的前進(jìn)、后退、停止進(jìn)行全自動(dòng)控制,全部工藝過程實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化,具有高可靠性及抗干擾能力。
3.具有友好的人機(jī)界面,用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù),并可隨時(shí)顯示各種工藝狀態(tài)。
4.具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇。
5.具有多種報(bào)警功能及安全保護(hù)功能。
6.具有強(qiáng)大的軟件功能,配有故障自診斷軟件,可大大節(jié)省維修時(shí)間。
7.恒溫區(qū)自動(dòng)調(diào)整,串級(jí)控制,可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實(shí)際工藝溫度(可選擇)
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