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■擴散爐控制系統(tǒng)特點
◆ 可保存多條工藝曲線,每條曲線可設(shè)置多步
◆ 工藝曲線的自動運行控制功能
◆ 自動運行中可暫停/繼續(xù)運行功能
◆ 工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能
◆ 可存儲多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運行調(diào)用功能
◆ PID參數(shù)自整定功能
◆ 具有自主知識產(chǎn)權(quán)的軟件系統(tǒng),良好的人機界面
◆ 系統(tǒng)故障自診功能
◆ 工藝氣體的程序控制功能
◆ 停電后斷點繼續(xù)運行功能等
◆ 關(guān)鍵件全部具有高可靠性
◆ 具有歷史記錄功能
◆ 具有多種故障報警及各種安全互鎖保護功能
◆ 具有多點溫度補償
★ 可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開發(fā)相應(yīng)的功能
■ 擴散爐主要技術(shù)指標
◆ 可配工藝管外徑: 2~8英寸
◆ 可配工藝管數(shù)量: 1~4管/臺
◆ 恒溫區(qū)長度及精度: 300~1250mm 800~1300℃/±0.5℃
◆ 工作溫度范圍: 400~1300℃
◆ 單點溫度穩(wěn)定性: 800~1300℃ ±0.5℃/24h
◆ 最大可控升溫速度: 15℃/min
◆ 最大降溫速度: 5℃/min
★ 可為用戶量身定制非標準設(shè)備購買之前,如有問題,請向我們咨詢