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    包郵 關(guān)注:406

    高溫擴散爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    青島合順合

    規(guī)格型號：

    2-8英寸

    發(fā)貨期限：

    90天天

    庫       存：

    10

    產(chǎn)       地：

    中國-山東省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：青島合順合

    型號：2-8英寸

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

              
                                                   高溫擴散爐

                    擴散爐應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件及

            大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)M行擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等

            工藝，可用于    2-8英寸工藝尺寸。

    ■擴散爐控制系統(tǒng)特點

    ◆ 可保存多條工藝曲線，每條曲線可設(shè)置多步

    ◆ 工藝曲線的自動運行控制功能  

    ◆ 自動運行中可暫停/繼續(xù)運行功能

    ◆ 工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能 

    ◆ 可存儲多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運行調(diào)用功能   

    ◆ PID參數(shù)自整定功能

    ◆ 具有自主知識產(chǎn)權(quán)的軟件系統(tǒng)，良好的人機界面

    ◆ 系統(tǒng)故障自診功能

    ◆ 工藝氣體的程序控制功能

    ◆ 停電后斷點繼續(xù)運行功能等     

    ◆ 關(guān)鍵件全部具有高可靠性  

    ◆ 具有歷史記錄功能

    ◆ 具有多種故障報警及各種安全互鎖保護功能

    ◆ 具有多點溫度補償

    ★ 可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開發(fā)相應(yīng)的功能  

     

    ■ 擴散爐主要技術(shù)指標

    ◆ 可配工藝管外徑：        2~8英寸     

    ◆ 可配工藝管數(shù)量：        1~4管/臺

    ◆ 恒溫區(qū)長度及精度：    300～1250mm   800~1300℃/±0.5℃  

    ◆ 工作溫度范圍：            400～1300℃

    ◆ 單點溫度穩(wěn)定性：        800～1300℃   ±0.5℃/24h  

    ◆ 最大可控升溫速度：    15℃/min

    ◆ 最大降溫速度：             5℃/min     

         ★ 可為用戶量身定制非標準設(shè)備

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