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    管式爐(T max 1300℃)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    Facerom

    發(fā)貨期限：

    15天

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

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    品牌：Facerom

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備

     管式爐(T max 1300℃)

    采用進口陶瓷纖維絕熱材料隔熱，進口KTL電阻絲內(nèi)嵌式環(huán)繞加熱，溫場均勻,使用壽命長，高純剛玉管作為爐膛，潔凈度高?？色@得不同的真空，也可實現(xiàn)多種工藝氣體控制。是理想的科研實驗設(shè)備。

    特點

    ? 工作溫度RT～1200℃。

    ? 爐管管徑40mm～80mm可選。

    ? 溫區(qū)個數(shù)1～3個可選。

    ? 程序控溫儀，智能邏輯PID算法，控制精準?？删庉?、儲存并調(diào)用多段程序，無需重新設(shè)置，操作簡單。

    ? 爐殼結(jié)構(gòu)，雙層爐殼風(fēng)冷結(jié)構(gòu)。

    ?不銹鋼雙層密封法蘭，進、出氣閥采用美標針閥

    ? 兩端可調(diào)節(jié)式法蘭支撐結(jié)構(gòu)，延長剛玉爐管使用壽命。

    ? LED高強度抗破壞全不銹鋼按鈕，經(jīng)久耐用。

    ? 超溫保護功能，當溫度超過允許設(shè)定值自動斷電。

    ? 安全保護當爐體漏電時自動斷電。

    ?額外選配：爐內(nèi)測量系統(tǒng)（氧含量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系統(tǒng)）；

    真空系統(tǒng)（旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組）；

    氣氛系統(tǒng)（浮子流量計、質(zhì)量流量計）；

    監(jiān)控系統(tǒng)：（溫度記錄儀、觸摸屏遠程監(jiān)控）；

                  注：選件需配置拓展柜體；

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