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熱門產(chǎn)品

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一、公司介紹

工程工作現(xiàn)場全景

揚州市神州科技有限公司成立于2003年，現(xiàn)有專業(yè)技術人員40人, 員工50人, 專業(yè)從事射頻等離子體電源的維修、維護及銷售，主要服務內(nèi)容包括：為半導體工廠，液晶面板工廠等提供AE, MKS(ENI), DAIHEN, AD-TEC, KYOSAN, RFPP等國際品牌的射頻電源、直流電源、匹配器、RPS及各類半導體設備維修、銷售、客戶方案定制與老式機型替代，并提供現(xiàn)場支持服務。
公司主要客戶：TSMC, HYNIX, SMIC, IVO, JCAP, MEMSIC, HHNEC, SZ TIANMA, HEJIAN, JA SOLAR,SONY, TOSHIBA, BEST SOLAR等。

二、產(chǎn)品介紹

AE APEX 1513 /13.56 MHz / 1500 W 射頻電源

物理特性
尺寸	132.59mm（高）x 215.14mm（寬）x 425.96mm（深）
	5.22"（高）x 8.47"（寬）x 16.77"（深）
頻率	13.56 MHz
射頻輸出功率與調(diào)節(jié)	50Ω非無功負載上的正向輸出功率為1.5kW
	2:1電壓駐波比負載上的正向功率為1000 W
	3:1電壓駐波比負載上的正向功率為750 W
諧波	當在50Ω非無功負載中運行時，全部為最大額定輸出為-40ddBc的正向/負載諧波
輸出精度
正向功率調(diào)節(jié)	當用50Ω非無功阻抗測量時，為設定值的±%或滿額定輸出功率的±0.1%，以二者中較大者為準
負載功率調(diào)節(jié)	在3:1電壓駐波比無功負載下時，為負載功率的±3%
環(huán)境因素
操作環(huán)境溫度	最低5℃(41℉),最高40℃(104℉)
水冷卻劑溫度	最高35℃(95℉)

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更多信息請與我們聯(lián)系！

三、品質(zhì)保障

我們所銷售的電源、匹配器及RPS等如無特殊說明，均提供6個月的免費保修服務。

我們?yōu)殇N售產(chǎn)品提供終身維修服務，并可提供EXCHANGE服務，保證客戶的生產(chǎn)正常進行。

四、運輸

包裝箱方式

我們?yōu)樗谐鰪S的機器提供最結實的包裝，保證運輸過程中機器的安全。

AE APEX 1513 13.56MHz(1500W)射頻電源維修及銷售

應用于半導體行業(yè)：

產(chǎn)品品牌

規(guī)格型號：

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數(shù) 量：

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售后保障

應用于半導體行業(yè)的相關同類產(chǎn)品：

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