服務熱線
4006988696
揚州市神州科技有限公司成立于2003年,現(xiàn)有專業(yè)技術人員40人, 員工50人, 專業(yè)從事射頻等離子體電源的維修、維護及銷售,主要服務內(nèi)容包括:為半導體工廠,液晶面板工廠等提供AE, MKS(ENI), DAIHEN, AD-TEC, KYOSAN, RFPP等國際品牌的射頻電源、直流電源、匹配器、RPS及各類半導體設備維修、銷售、客戶方案定制與老式機型替代,并提供現(xiàn)場支持服務。
公司主要客戶:TSMC, HYNIX, SMIC, IVO, JCAP, MEMSIC, HHNEC, SZ TIANMA, HEJIAN, JA SOLAR,SONY, TOSHIBA, BEST SOLAR等。
二、產(chǎn)品介紹
AE APEX 1513 /13.56 MHz / 1500 W 射頻電源
物理特性 | |
尺寸 | 132.59mm(高)x 215.14mm(寬)x 425.96mm(深) |
5.22"(高)x 8.47"(寬)x 16.77"(深) | |
頻率 | 13.56 MHz |
射頻輸出功率與調(diào)節(jié) | 50Ω非無功負載上的正向輸出功率為1.5kW |
2:1電壓駐波比負載上的正向功率為1000 W | |
3:1電壓駐波比負載上的正向功率為750 W | |
諧波 | 當在50Ω非無功負載中運行時,全部為最大額定輸出為-40ddBc的正向/負載諧波 |
輸出精度 | |
正向功率調(diào)節(jié) | 當用50Ω非無功阻抗測量時,為設定值的±%或滿額定輸出功率的±0.1%,以二者中較大者為準 |
負載功率調(diào)節(jié) | 在3:1電壓駐波比無功負載下時,為負載功率的±3% |
環(huán)境因素 | |
操作環(huán)境溫度 | 最低5℃(41℉),最高40℃(104℉) |
水冷卻劑溫度 | 最高35℃(95℉) |
更多信息請與我們聯(lián)系!
三、品質(zhì)保障
我們所銷售的電源、匹配器及RPS等如無特殊說明,均提供6個月的免費保修服務。
我們?yōu)殇N售產(chǎn)品提供終身維修服務,并可提供EXCHANGE服務,保證客戶的生產(chǎn)正常進行。
四、運輸
我們?yōu)樗谐鰪S的機器提供最結實的包裝,保證運輸過程中機器的安全。
購買之前,如有問題,請向我們咨詢