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    1pm高分辨率光干涉CNC顯微鏡BW-M7000

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-顯微鏡分類

    產(chǎn)品品牌

    尼康

    庫(kù)       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)-北京市

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:尼康

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備-顯微鏡分類

     

    尼康旗下的NIKON INSTECH公司(總部:東京)將推出高度分辨率達(dá)到1pm的光干涉顯微鏡系統(tǒng)“BW-M7000”(圖1)。該系統(tǒng)可高速高精度測(cè)定高度范圍從亞納米級(jí)到毫米級(jí)的表面性狀(材料表面圖案及粗糙度、表面上的微小落差等)。

     

    表面性狀測(cè)定采用尼康自主開(kāi)發(fā)的方式——“FVWLI(Focus Variation with White Light Interferometry)法”。該方法可使對(duì)象材料的表面生成干涉紋,高精度決定各像素的焦點(diǎn)位置。通過(guò)使用這種方式,可在2.5倍(視野4.4×4.4mm)至100倍(視野111.0×110.0μm)的所有倍率下實(shí)現(xiàn)三維算數(shù)平均高度(Sa)為0.1nm級(jí)別的表面性狀評(píng)估。能夠以單一模式測(cè)定超平滑表面到粗糙表面,無(wú)需更換光學(xué)濾光片等部件。另外,在測(cè)定膜厚時(shí)使用光譜干涉法。能以不到0.1秒的時(shí)間測(cè)定厚度為1nm~40μm的透明薄膜的厚度。

     

    可通過(guò)程序控制手段實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)定,能夠自動(dòng)實(shí)施對(duì)焦、調(diào)整樣品的傾斜、判斷是否合格等操作。可自動(dòng)測(cè)定多個(gè)視野,除了材料研發(fā)一線之外,還可輕松用于品質(zhì)管理及品質(zhì)保證現(xiàn)場(chǎng)。

     

    該顯微鏡配備最大行程為300×300mm的電動(dòng)XY軸載物臺(tái),以及最大行程為200mm的電動(dòng)Z軸變焦載物臺(tái)??蓽y(cè)定半導(dǎo)體、LED、薄膜材料、高分子材料、精密機(jī)械加工部件等多種樣品(圖2、圖3)。在測(cè)定鉆頭尖端的表面形狀時(shí),可用夾具保持其直立固定狀態(tài)。

     

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