² 設(shè)備主體:設(shè)備主體、電氣控制部分、化學(xué)工藝槽、純水清洗槽等;并提供與廠務(wù)供電、供氣、供水、排廢水、排氣系統(tǒng)配套的接口等
² 規(guī)范:本設(shè)備的設(shè)計(jì)、選購(gòu)、制造、檢驗(yàn)和測(cè)試均按照相關(guān)國(guó)家、半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(SEMI-S2-93)執(zhí)行,ISO9001質(zhì)量管理體系進(jìn)行規(guī)范和保證,但合同中或技術(shù)文件中另有規(guī)定的除外。外購(gòu)配件執(zhí)行相應(yīng)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范及企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
² 主體外殼:設(shè)備主體外殼使用德國(guó)勞士領(lǐng)10mm瓷白PP
² 骨架:SUS304+PP德國(guó)勞士領(lǐng)板組合而成,防止外殼銹蝕
² 安全門:設(shè)備安裝高透明PVC折疊門(半扇)
² 臺(tái)面:高度為850mm,方便人員操作,臺(tái)面為多孔結(jié)構(gòu)防止積液,臺(tái)面上的液體不得滴入腐蝕槽及QDR槽
² 工藝槽:模組化設(shè)計(jì),腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個(gè)統(tǒng)一的承漏底盤(pán)中。底盤(pán)采用滿焊接工藝加工而成,杜絕機(jī)臺(tái)的滲漏危險(xiǎn)
² 管路:位于設(shè)備下部,所有工藝槽、管路、閥門部分均有清晰的標(biāo)簽注明;藥液及氣體管路采用PFA管,純水管路采用CL-PVC管,藥液閥門為進(jìn)口PFA化學(xué)腐蝕槽廢液、沖洗廢水通過(guò)專用管道排放
² 電氣保護(hù):電器控制、氣路控制和工藝槽控制部份在機(jī)臺(tái)頂部電控區(qū),電氣元件有充分的防護(hù)以免酸霧腐蝕以保障設(shè)備性能運(yùn)行穩(wěn)定可靠;所有可能與酸霧接觸的電氣及線路均經(jīng)PFA防腐隔絕處理,電氣柜CDA/N2充氣保護(hù)其中的電器控制元件
² 工作照明:上方防酸型照明燈 220V 40W 可更換
² 水氣槍:機(jī)臺(tái)前部配備有PP純水槍和PP氮?dú)鈽尭鲀芍环种糜趦蓚?cè),水槍滴漏活水設(shè)計(jì),方便操作員手工清洗槽體或工件
² 機(jī)臺(tái)支腳:有滑輪裝置及固定裝置并加防腐座,并且有高低調(diào)整及鎖定功能
² 托盤(pán):配PVC托盤(pán),托盤(pán)外形尺寸比設(shè)備尺寸大4cm
² 安全保障:完善的報(bào)警和保護(hù)設(shè)計(jì),排風(fēng)壓力、液位、排液均有硬件或軟件互鎖,直觀的操作界面,清晰的信息提示,保障了生產(chǎn)、工藝控制和安全性三色警示燈置于機(jī)臺(tái)上方明顯處
² 機(jī)臺(tái)下部做儲(chǔ)物柜設(shè)計(jì)
售后保障
售后服務(wù)承諾書(shū)
• 產(chǎn)品售后服務(wù)的技術(shù)支持能力:售后技術(shù)人員共有 10 人,相關(guān)設(shè)備齊全;
• 本工程將派員工 2~4 名到現(xiàn)場(chǎng)負(fù)責(zé)安裝測(cè)試工作。
• 應(yīng)急響應(yīng)時(shí)間:接通知后,在 24 小時(shí)內(nèi)到現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行維修處理。
• 免費(fèi)質(zhì)保期限(或保用期限): 12 月
• 免費(fèi)質(zhì)保期(或保用期限)的定義:設(shè)備安裝調(diào)試完成之日起12個(gè)月內(nèi)
• 質(zhì)保期內(nèi)因買方原因造成損失,并需賣方派員服務(wù)時(shí):
• (1)是否派員到現(xiàn)場(chǎng)? 可以
• (2)是否免費(fèi)更換損壞部分? 是,但收取成本費(fèi)
• 質(zhì)保期內(nèi),賣方是否免費(fèi)為買方提供對(duì)產(chǎn)品的二次搬遷服務(wù)? 是
• 質(zhì)保期滿后
• (1)是否派員到現(xiàn)場(chǎng)提供服務(wù)? 是
• (2)應(yīng)急響應(yīng)時(shí)間:接通知后,在 24 小時(shí)內(nèi)到現(xiàn)場(chǎng)。
• (3)如何收費(fèi)?是否只收損壞部分成本價(jià)? 是
• 其他服務(wù)承諾
• (1)質(zhì)保期內(nèi)賣方免費(fèi)提供產(chǎn)品軟件升級(jí)
• (2)接到買方通知,我方 2 小時(shí)內(nèi)給予回復(fù)
• (3)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng) 4 小時(shí)內(nèi)解決問(wèn)題或提出詳細(xì)解決方案及安排
• 若雙方達(dá)成一致簽訂合同,以上承諾書(shū)將構(gòu)成合同不可分割的一部分,與合同具有同等的法律效力。