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    RCA清洗機(jī)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體清洗設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    RHXX

    發(fā)貨期限：

    100天天

    庫(kù)       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國(guó)

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：RHXX

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體清洗設(shè)備

     槽式清洗機(jī)是一種專門用于批量清洗晶圓和其他工業(yè)零件的高效設(shè)備。它通過(guò)將物品放入裝有化學(xué)試劑的槽中完全浸沒(méi)的方式對(duì)產(chǎn)品腐蝕/剝離/清洗。

     

    工作原理：主要基于超聲波在液體中的空化作用，這種作用產(chǎn)生的沖擊波可以深入物體表面的微觀凹陷處，實(shí)現(xiàn)深層清潔。同時(shí)，配合不同的化學(xué)試劑，可以有效地去除晶圓表面的化學(xué)劑殘留、顆粒、金屬等雜質(zhì)。

    適用產(chǎn)品尺寸：2~12英寸

    適用產(chǎn)品：Si、SiC、氮化鎵、陶瓷、氧化鎵、砷化鎵、LT/LN、藍(lán)寶石、石英、磷化銦等泛半導(dǎo)體材料

    處理能力：25~50PCS/槽

    藥液槽體材質(zhì)：PPN;PVDF;PTFE;SUS316L;石英

    DIW槽;PPN;PVDF;PVC

    功能介紹：

            藥液槽：加熱/制冷/恒溫；循環(huán)；過(guò)濾；晶片旋轉(zhuǎn)/拋動(dòng)；超聲/兆聲；

            水槽：噴淋、溢流、鼓泡、快排、水阻檢測(cè)

            自動(dòng)供液：Local CDS/LCSS

    控制系統(tǒng)：PC+PLC+TP/PLC+TP

    設(shè)備特點(diǎn)：

    批量式處理；適用多種化學(xué)液槽；高溫溫控精準(zhǔn)；腐蝕/刻蝕均勻性好；客制化軟件更符合使用；

    應(yīng)用領(lǐng)域：襯底材料、集成電路、功率半導(dǎo)體、MEMS、光學(xué)等；

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